设备优势：

1、高产能
182:14500片/h
210:12500片/h
2、高效率
小换水 30min/次
大换水 90min/次
3、节能
用水量：182片 1.4T/万片
210片 1.7T/万片
用电量：182片 135Kwh/万片
210片 153Kwh/万片

设备参数：

1、设备长宽高 20米x3.1米x3.5米（不包含下料皮带线）
2、总功率：550KW（根据实际的工艺定制）
3、电源：380V±10％，频率50HZ，三项五线制
4、气压：0.6MPa
5、水压：正常市水
6、使用环境 ：（环境温度 -10～40℃）（湿度：相对湿度 ≤80%）
*以上参数以实际产品为准

应用范围：

适用硅片外形尺寸：166mm-230mm
适用硅片厚度：100μm-160μm